技術(shù)編號：7046052
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提出了一種，在反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置具有不同波長的紫外線燈，在對低k介質(zhì)進行紫外線照射處理時，先采用波長較長的紫外線燈對低k介質(zhì)進行處理，再采用波長較短的紫外線燈對低k介質(zhì)進行處理；由于波長較長的紫外線的光子能量更低，使低k介質(zhì)的薄膜內(nèi)部交聯(lián)反應(yīng)較弱，能夠保證低k介質(zhì)薄膜下層的致孔劑能夠更徹底的被清除，然后再用波長較短的紫外線進行照射，促進低k介質(zhì)薄膜的交聯(lián)反應(yīng)也徹底完成，從而形成多孔性較好的低k介質(zhì)薄膜。專利說明[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。