技術(shù)編號(hào):7045234
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種基于石墨烯電極的半導(dǎo)體器件,依次由襯底層、第一半導(dǎo)體層、有源層、第二半導(dǎo)體層和石墨烯電極層結(jié)合形成,采用加強(qiáng)電極通過(guò)釘扎固定結(jié)合方式將石墨烯電極層固定結(jié)合在第二半導(dǎo)體層上,使加強(qiáng)電極的材料和石墨烯電極層的石墨烯材料相互結(jié)合形成復(fù)合電極。本發(fā)明還公開(kāi)了一種半導(dǎo)體器件的制備方法,采用石墨烯薄膜與協(xié)同導(dǎo)電材料構(gòu)成復(fù)合電極,并置于依次由襯底、導(dǎo)體層、有源層和半導(dǎo)體層形成體系之上,組成完整的器件結(jié)構(gòu)。本發(fā)明使石墨烯電極形成釘扎固定連接的復(fù)合結(jié)構(gòu),提高...
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