技術(shù)編號：7045076
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種，該保溫桶包括底座、固定于底座上的限位柱、至少一片鰭片，該鰭片被限位柱阻擋以防止掉落并平行層疊于底座上，該鰭片之間具有一間隙。本發(fā)明的保溫桶具有可拆卸式的一片或多片鰭片，通過支柱安裝在保溫桶的底座上，根據(jù)不同濕氧工藝溫度需求來調(diào)整鰭片的數(shù)量，能有效防止低工藝溫度時(shí)水蒸汽形成的水珠對工藝和器件產(chǎn)生的不良影響，同時(shí)避免高工藝溫度對工藝門密封部件造成的損傷。專利說明[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造，特別涉及一種用于半導(dǎo)體加熱氧化工藝的氧化爐保溫...
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