技術(shù)編號(hào)：7044827
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施例涉及用于。背景技術(shù)用于制造包括半導(dǎo)體部分和非半導(dǎo)體部分的裝置的傳統(tǒng)工藝包括例如用于生產(chǎn)功率盤裝置的工藝。這種功率盤裝置也被稱為STD片狀器件(pellet)，由多個(gè)盤的堆疊形成，所述多個(gè)盤包括夾在成對(duì)的銅盤和鑰盤之間的硅盤。硅盤具有其斜削的外邊緣，并且其平面主表面可以覆蓋有Al金屬化。用于生成這種裝置的傳統(tǒng)工藝包括用于在硅盤外周處對(duì)硅盤進(jìn)行刻蝕的手工工作場(chǎng)所、用于將硅盤、銅盤和鑰盤組裝成堆疊的手工工作場(chǎng)所、以及用于提供延伸越過銅盤和鑰盤的硅盤...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。