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在底部金屬層下方帶有電源軌的集成電路布局的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7043719

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,更具體地,本發(fā)明涉及一種在底部金屬層下方帶有電源軌的集成電路布局。背景技術(shù)在集成電路的制造中,標(biāo)準(zhǔn)單元經(jīng)常被用作構(gòu)成集成電路的器件的基本元素。對標(biāo)準(zhǔn)單元進行布置和布線以形成功能電路。在標(biāo)準(zhǔn)單元的典型布局中,電源軌被布置在單元的邊界上。當(dāng)成行地布置多個標(biāo)準(zhǔn)單元時,相同行中的標(biāo)準(zhǔn)單元的電源軌彼此連接,從而形成長電源軌,該長電源軌可以延伸穿過例如,幾千個或更多的標(biāo)準(zhǔn)單元。相鄰行中的電源軌被合并,從而形成寬度是獨立的標(biāo)準(zhǔn)單元中的電源軌寬度的兩...
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