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一種鰭狀背柵的存儲結(jié)構(gòu)及其浮體單元的自動刷新方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7040187

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本發(fā)明提出,通過在一上表面設(shè)置有背柵的襯底的上表面設(shè)置有背柵氧化層;并在背柵氧化層上設(shè)置浮柵結(jié)構(gòu),在很小的電壓就能完成數(shù)據(jù)寫入,并且采用的浮體單元自動刷新技術(shù),保持時間大大增加,顯著降低了功耗,同時由于存儲單元尺寸也非常小,集成度也非常高。用本發(fā)明單管存儲結(jié)構(gòu)替代原來六管存儲單元結(jié)構(gòu)的靜態(tài)隨機(jī)存儲器可大幅降低CMOS處理器芯片面積,并且適用于28/20/14nm甚至以下工藝節(jié)點,成本明顯降低,功耗也顯著下降。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)...
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