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具可編程可抹除的單一多晶硅層非揮發(fā)性存儲器的制造方法技術資料下載

技術編號:7039949

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本發(fā)明公開一種具可編程可抹除的單一多晶硅非揮發(fā)性存儲器,其包括一基板結(jié)構(gòu);一第一p型晶體管,包括一選擇柵極連接至一選擇柵極電壓,一第一p型源/漏區(qū)域連接至一源極線電壓以及一第二p型源/漏區(qū)域;一第二p型晶體管,包括該第二p型源/漏區(qū)域,一第三p型源/漏區(qū)域連接至一位線電壓,以及一浮動柵極,其中該第一p型源/漏區(qū)域、該第二p型源/漏區(qū)域、與該第三p型源/漏區(qū)域形成于一N型阱區(qū)內(nèi);以及一抹除柵區(qū)域,相鄰于該浮動柵極,且該抹除柵區(qū)域包括一P型阱區(qū)以及一n型源/漏...
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