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溫度受控的集成壓電諧振器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7038374

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一種集成諧振器設(shè)備(100),包括壓電諧振器(120、124、128);耦合到壓電諧振器的聲學布拉格反射器(104);以及襯底(102),所述聲學布拉格反射器設(shè)置在襯底(102)上。該設(shè)備還包括覆蓋壓電諧振器的有源加熱器層。有源加熱器層(150)產(chǎn)生的熱量由通過加熱器層提供的電流量可控制。專利說明 溫度受控的集成壓電諧振器 [0001 ] 本發(fā)明涉及用于集成壓電諧振器的設(shè)備和方法。 背景技術(shù) [0002]時序解決方案在現(xiàn)代電子裝置中很重要。在幾乎...
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