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堿槽轉軸的制作方法技術資料下載

技術編號:7033526

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本實用新型堿槽轉軸,包括滾軸,滾軸的旋轉中心設置硅片盒中硅片的正下方,滾軸為扇形;插片,插片為三個,三個插片設置在滾軸的圓弧與滾軸的半徑的兩個交點處及滾軸所在圓的圓心處;其中滾軸的旋轉中心離硅片下方參考面的垂直距離H為31.7毫米~32毫米;滾軸的旋轉中心離硅片下方參考面兩側端點的距離B為42.6毫米~43.2毫米;滾軸的旋轉中心離設置在滾軸所在圓的圓心上的插片頂端的距離L2為47.6毫米~48.2毫米。本實用新型堿槽轉軸通過改變原先轉軸的形貌及尺寸,以提...
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