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半導體器件的制作方法技術資料下載

技術編號:7028261

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本實用新型提供一種半導體器件,其包括補償區(qū),其包括p區(qū)和n區(qū);位于所述補償區(qū)上的包括柵電極的多個晶體管單元;一個或多個用于電連接柵電極的互連,其中所述柵電極具有比所述單元的節(jié)距的1/2小的寬度。專利說明半導體器件 [0001] 本實用新型涉及一種半導體器件,尤其涉及一種超結器件。 背景技術 [0002] 為了快速開關超結晶體管,期望的是具有低的柵極電荷。這將減少開關損耗,驅動 損耗并且能夠有助于驅動概念。例如,在驅動器之后用來給開關晶體管的柵極提...
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