技術(shù)編號：7015687
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明實(shí)施例公開了一種用于定義薄膜晶體管元件的數(shù)據(jù)層及半導(dǎo)體層的圖案的光掩膜。該光掩膜上開設(shè)有貫穿該光掩膜的多條狹縫，該多條狹縫彼此平行并等間距排列。該光掩膜上除該多條狹縫以外的區(qū)域被定義為遮光圖案區(qū)，該遮光圖案區(qū)將該多條狹縫包圍起來。另外，本發(fā)明實(shí)施例還公開了一種薄膜晶體管元件及一種制作薄膜晶體管元件的方法。專利說明[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種薄膜晶體管元件、一種用于制作該薄膜晶體管元件的光掩膜以及一種制作該薄膜晶體管元件的方法。背景...
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