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通過器件隔離結(jié)構(gòu)隔離的半導(dǎo)體開關(guān)器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7011698

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通過器件隔離結(jié)構(gòu)隔離的半導(dǎo)體開關(guān)器件。本發(fā)明提供了一種器件,包括在半導(dǎo)體襯底上方形成的柵極結(jié)構(gòu),柵極結(jié)構(gòu)具有延伸件;器件隔離結(jié)構(gòu)形成在半導(dǎo)體襯底中并且與柵極結(jié)構(gòu)鄰近,其中,延伸件位于部分器件隔離結(jié)構(gòu)上方;以及位于柵極結(jié)構(gòu)的兩側(cè)上的源極/漏極區(qū),源極/漏極區(qū)形成在器件隔離結(jié)構(gòu)中的間隙中并且被柵極結(jié)構(gòu)的延伸件部分包圍繞。本發(fā)明還提供了一種形成晶體管器件的方法。專利說明通過器件隔離結(jié)構(gòu)隔離的半導(dǎo)體開關(guān)器件 [0001]本發(fā)明總體涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,更具體地,涉...
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