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梅花型掩膜版以及利用梅花型掩膜版制造圖形化襯底的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7008326

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本發(fā)明提出了一種梅花型掩膜版,包括光刻板,光刻板上設(shè)置梅花型陣列單元,梅花型陣列單元包括多個(gè)梅花型單元,梅花型單元包括外圓環(huán)和與外圓環(huán)內(nèi)徑相切的內(nèi)圓。本發(fā)明的一種,減少外延生長(zhǎng)缺陷,增加光提取效率,從而提高GaN基LED發(fā)光效率。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置領(lǐng)域,尤其涉及一種。背景技術(shù)[0002]目前,GaN基(氮化鎵)LED (發(fā)光二極管)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于全色顯示、交通信號(hào)燈、液晶背光顯示,并逐步進(jìn)入照明領(lǐng)域。為了滿足下一代投影儀、汽車大燈和高...
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