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混合集成電路可動粒子的吸附方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7006980

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本發(fā)明涉及集成電路,具體而言涉及混合集成電路生產(chǎn)過程中吸附可動粒子以提高產(chǎn)品可靠性的方法。背景技術(shù) 在集成電路生產(chǎn)中,如何解決陷在封裝中的可動粒子一直是長期希望解決的難題,因?yàn)檫@些粒子對于元器件的可靠性有相當(dāng)大的威脅。在制造混合集成電路時(shí),由于其比單片器件涉及更多的結(jié)構(gòu)材料,工藝更復(fù)雜,組裝難度更高,因此給可動的或潛在可動的多余物提供了更多的存在機(jī)會,這些多余物通稱“粒子”。而這些可動的粒子在具備一定條件發(fā)生位移時(shí),會造成器件內(nèi)部元件短路導(dǎo)致器件失效。在有...
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