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內(nèi)裝半導(dǎo)體的毫米波段模塊的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7004052

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本發(fā)明涉及內(nèi)裝半導(dǎo)體的模塊,特別涉及在微米波段或毫米波段工作的半導(dǎo)體元件(以下簡稱為“工作在毫米波段的半導(dǎo)體元件”)被配置在電氣絕緣性基板內(nèi)部的內(nèi)裝半導(dǎo)體的模塊。背景技術(shù) 近年來,隨著電子設(shè)備的高性能化和小型化的要求,迫切希望電路元件的高密度化和高性能化。因此,要求電路基板能適應(yīng)電路元件的高密度、高功能化。特別是,作為使包括半導(dǎo)體元件在內(nèi)的電路元件高密度化的方法而提出的內(nèi)裝電路元件的模塊(特開平11-220262號公報、特許第3051700號),通過采用由...
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