技術編號：7001074
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種微晶半導體膜的制造方法、使用該微晶半導體膜的半導體裝置的制造方法及顯示裝置。另外，本說明書中的半導體裝置指的是能夠通過利用半導體特性工作的所有裝置，因此顯示裝置、電光裝置、光電轉換裝置、半導體電路以及電子設備都是半導體裝置。背景技術作為場效應晶體管的一種，已知有使用形成在具有絕緣表面的襯底上的半導體膜來形成溝道區(qū)的薄膜晶體管。已公開有作為用于薄膜晶體管的溝道區(qū)的半導體膜，使用非晶硅、微晶硅及多晶硅的技術(參照專利文獻1至幻。薄膜晶體管的典型應...
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