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氮化物半導(dǎo)體元件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6999883

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本發(fā)明的實(shí)施方式涉及氮化物半導(dǎo)體元件。 背景技術(shù)在開(kāi)關(guān)電源和逆變器(inverter)等中使用的電力控制用元件(功率半導(dǎo)體元件) 中,要求高耐壓、低電阻的特性。半導(dǎo)體元件的耐壓特性和輸出特性存在由元件材料的物理性質(zhì)決定的折衷選擇(trade-off)關(guān)系。以往,使用硅作為功率半導(dǎo)體元件的材料。通過(guò)長(zhǎng)年的技術(shù)開(kāi)發(fā),功率半導(dǎo)體元件的高耐壓、低電阻特性正達(dá)到被硅材料特性限制的極限。 因此,為了超越這個(gè)極限,進(jìn)行了采用碳化硅(SiC)和氮化物半導(dǎo)體等代替硅的新材料...
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