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壓電驅(qū)動器及直線壓電馬達(dá)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6998382

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本發(fā)明涉及壓電馬達(dá)技術(shù),尤其涉及一種壓電驅(qū)動器及直線壓電馬達(dá)。 背景技術(shù)壓電馬達(dá)是一種微型電機(jī),其具有響應(yīng)速度快、位移分辨率高的優(yōu)點,可適用于微型或超微型機(jī)械中微納米定位及驅(qū)動,例如微型或超微型數(shù)碼相機(jī)鏡頭的聚焦或變焦驅(qū)動等,由于壓電馬達(dá)結(jié)構(gòu)緊湊、尺寸小,因此,如何提高壓電馬達(dá)制作的便利性、壓電馬達(dá)的控制性能以及壓電馬達(dá)的驅(qū)動能力非常重要。壓電馬達(dá)主要包括壓電驅(qū)動器和運動部件,壓電驅(qū)動器是提供驅(qū)動力的關(guān)鍵部件,壓電馬達(dá)就是依靠壓電驅(qū)動器的特定運動來帶動運動...
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