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硅控整流器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6994394

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件,尤其涉及低觸發(fā)電壓的硅控整流器。 背景技術(shù)在集成電路(IC)的制造與使用中,靜電放電(ESD)是一個(gè)需要考量的問題。隨著對(duì)高速運(yùn)算和寬帶無線通信產(chǎn)品IC的需求日益增加,加之目前的IC工藝正快速地進(jìn)入80 納米甚至65納米以下,IC的內(nèi)部元件都非常微小,所以很容易受到瞬間靜電放電的破壞。 因此,ESD對(duì)IC的質(zhì)量有極大的影響,且隨著IC制造工藝的不斷進(jìn)步,ESD問題的重要性也與日俱增。目前商用IC在ESD防護(hù)能力的國際標(biāo)準(zhǔn)基本規(guī)格包括以...
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