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具有增加的有效電容的柔性電容式微加工超聲換能器陣列的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6990219

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本發(fā)明涉及一種改進(jìn)的電容式微加工超聲換能器(CMUT)以及用于制造CMUT的方法。背景技術(shù)附圖說(shuō)明圖1至圖3示出了具有平坦底部電極140的電容式微加工超聲換能器(CMUT) 100 的傳統(tǒng)工作原理。參照?qǐng)D1,CMUT 100類(lèi)似于平行板電容器,具有位于介質(zhì)薄膜120上的頂部電極 110,該介質(zhì)薄膜120通過(guò)真空或空氣腔室130與底部電極140隔離。底部電極140通常形成在平坦的導(dǎo)電基板上。頂部電極110和底部電極140可以由諸如導(dǎo)電硅基板之類(lèi)的導(dǎo)電材料制成...
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