技術(shù)編號(hào):6990219
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種改進(jìn)的電容式微加工超聲換能器(CMUT)以及用于制造CMUT的方法。背景技術(shù)附圖說(shuō)明圖1至圖3示出了具有平坦底部電極140的電容式微加工超聲換能器(CMUT) 100 的傳統(tǒng)工作原理。參照?qǐng)D1,CMUT 100類(lèi)似于平行板電容器,具有位于介質(zhì)薄膜120上的頂部電極 110,該介質(zhì)薄膜120通過(guò)真空或空氣腔室130與底部電極140隔離。底部電極140通常形成在平坦的導(dǎo)電基板上。頂部電極110和底部電極140可以由諸如導(dǎo)電硅基板之類(lèi)的導(dǎo)電材料制成...
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