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技術(shù)編號(hào)：6969512

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本發(fā)明涉及包含絕緣襯底例如玻璃或絕緣聚合物襯底上的薄膜晶體管(TFT)的電子器件。該器件可以是例如有源矩陣液晶顯示器(AMLCD)或其它平板顯示器。許多年以來(lái)，人們對(duì)開(kāi)發(fā)具有玻璃和/或其它廉價(jià)絕緣襯底上的TFT的薄膜電路用于大面積的電子應(yīng)用一直有非常大的興趣。由非晶或多晶半導(dǎo)體膜制造的這種TFT可以形成例如在美國(guó)專(zhuān)利US-A-5130829(我方參考PHB 33646)中描述的平板顯示器的有源板上的單元矩陣的開(kāi)關(guān)元件。通過(guò)連續(xù)淀積不同材料的層形成TFT。光...
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