技術(shù)編號：6968580
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在使用相干光源和相位型衍射光學(xué)元件的照明裝置中消除斑紋的技術(shù)。背景技術(shù) 近年來隨著半導(dǎo)體器件的小型化，使用光學(xué)顯微鏡的半導(dǎo)體檢查裝置要求較高的分辨率。為此，可以使用兩種方法，這兩種方法包括NA(數(shù)值孔徑)增加和波長縮短。然而，由于浸沒物鏡透鏡并不能用于檢查半導(dǎo)體裝置，因增加了“NA＜1.0”的限制。此外還有這樣的一種公知的裝置，該裝置通過縮短波長法使用遠(yuǎn)紫外激光以便實現(xiàn)較高的分辨率，并且通過以大致為可見光的波長的一半的波長觀測目標(biāo)能夠?qū)崿F(xiàn)大約兩倍...
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