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用于置放儲存匣的電子貨架的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6962765

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專利說明本實用新型關(guān)于一種電子貨架(E-Rack),尤指一種于制造工廠中,用來置放儲存 匣的電子貨架。背景技術(shù)隨著半導體技術(shù)的演進,許多產(chǎn)業(yè),諸如顯示器制造廠、半導體制造廠、太陽能設 備制造廠等,皆會進行半導體相關(guān)組件的處理或制造,而于制造過程中需要將半導體相關(guān) 組件,如半導體晶圓、光罩等,于不同的位置間移動,因此,于該等半導體相關(guān)組件移動或 存放時,皆會將之置放在一特制的儲存匣中以避免被雜質(zhì)污染。此外,當不需要使用這些半 導體相關(guān)組件時,該等儲存匣會被存...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

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