技術(shù)編號：6961181
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體晶圓制造，尤其涉及一種半導體晶圓傳遞及工藝前預 處理設備。背景技術(shù)目前國際上半導體設備都需要這種半導體晶圓傳遞及工藝前預處理這一功能。大 部分設備廠商均因此環(huán)節(jié)結(jié)構(gòu)設計缺陷，影響到后續(xù)晶圓產(chǎn)出率和良品率。當前大部分廠 商設備內(nèi)部布局及相關(guān)部件功能的缺少，使得機械手效率低，相關(guān)部件功能的缺少，影響設 備內(nèi)部環(huán)境的恒定及適宜的環(huán)境，導致晶圓良品率低。發(fā)明內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種半導體晶圓傳遞及工藝前預處理設備...
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