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技術(shù)編號：6958077

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體基板加工設(shè)備。尤其是涉及一種用于在半導(dǎo)體器件上進(jìn)行工藝 處理的平臺系統(tǒng)。本發(fā)明也可用于對具有相對較大尺寸的加工對象進(jìn)行加工的設(shè)備，例如 太陽能電池加工設(shè)備和大型顯示板加工設(shè)備。背景技術(shù)近年來，半導(dǎo)體加工設(shè)備的經(jīng)濟(jì)性和有效性已經(jīng)越來越受到重視。在半導(dǎo)體工業(yè) 領(lǐng)域中，半導(dǎo)體加工設(shè)備的經(jīng)濟(jì)性和有效性一般以半導(dǎo)體器件生產(chǎn)商的操作成本(Cost of Ownership,CoO)來衡量。影響CoO的因素有很多，但是半導(dǎo)體加工設(shè)備的產(chǎn)量和設(shè)備所需 占地...
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