技術(shù)編號:6942910
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及太陽能電池硅片PECVD鍍膜用的一種硅片承載器。背景技術(shù)PECVD是太陽能電池片等離子體化學(xué)沉積鍍膜工藝的簡稱,在太陽能電池的生產(chǎn) 過程中,對硅片鍍膜是提高太陽能電池吸收效率的關(guān)鍵技術(shù),根據(jù)硅片的光電轉(zhuǎn)換發(fā)電原 理,光線照射到硅片上會產(chǎn)生反射,硅片的光學(xué)損失會使太陽能電池的輸出低于理想值,硅 片鍍膜技術(shù)是提高太陽能電池吸收效率的成熟技術(shù),已在太陽能電池工業(yè)化生產(chǎn)中得到廣 泛應(yīng)用,通過PECVD能在硅片表面形成一層減反射膜。在PECVD鍍膜過程中必...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。