技術(shù)編號(hào)：6939774
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種螺旋狀電感結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)射頻片上電感是射頻集成電路的重要元件之一，廣泛應(yīng)用于壓控振蕩器，低噪聲 放大器等射頻電路模塊中。在一般的邏輯工藝和射頻工藝中的電感往往是用頂層金屬制作 的平面電感，層間介質(zhì)寄生電容以及襯底的渦流效應(yīng)對(duì)普通電感的高頻性能有不容忽視的 影響，而且多圈的平面電感在內(nèi)圈存在鄰近效應(yīng)，也降低了電感的品質(zhì)因數(shù)。一般的邏輯工藝和射頻工藝中的螺旋電感，該電感的上層金屬導(dǎo)線采用厚鋁金 屬，而下層金屬導(dǎo)線采用薄鋁金屬(見圖2)，因此具有...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。