技術(shù)編號：6937720
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，特別涉及一種具有用于連接電容器和導電圖像的導電插塞的。背景技術(shù) 構(gòu)成當前大規(guī)模生產(chǎn)的FeRAM(鐵電隨機存取存儲器)的鐵電電容器具有這樣的結(jié)構(gòu)，使得線路被連接到下電極和上電極，即平面結(jié)構(gòu)。在具有平面結(jié)構(gòu)的鐵電電容器中，下電極的接觸區(qū)域被形成為從鐵電薄膜的側(cè)面凸起。對應于FeRAM的較高集成度的需求，現(xiàn)在正在開發(fā)一種能夠減小存儲單元面積的具有疊層結(jié)構(gòu)的電容器。該疊層結(jié)構(gòu)是這樣一種結(jié)構(gòu)，其中導電插塞被連接到該鐵電電容器的下電極的下表面。接著，參...
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