技術編號：6935796
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及到功能薄膜的層離方法，確切地說是涉及到各配備有各種元件的薄膜或層的層離方法。此外，本發(fā)明涉及到用于將分離的薄膜粘合到薄膜襯底的轉移方法。還涉及到包含根據轉移方法制作的薄膜晶體管(以下成為TFT)的半導體器件及其制造方法。 背景技術 新近，利用制作在配備有絕緣表面的襯底上的半導體薄膜(厚度約為幾十nm到幾百nm)來制作TFT的技術正受到注意。TFT被廣泛地應用于諸如集成電路或電光器件之類的電子器件，且特別被開發(fā)作為顯示器件的開關元件或驅動電路。 ...
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