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晶圓、芯片制造方法及焊線接合結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6934002

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本發(fā)明有關(guān)于一種焊線接合結(jié)構(gòu),更特別有關(guān)于一種焊線接合結(jié)構(gòu),其中間材料 介于銅制焊線與鋁制接墊之間作為施壓緩沖之用,藉此該銅制焊線在施壓工藝時所造成的 力將不會損壞鋁制接墊的結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)參考圖1,在半導(dǎo)體封裝構(gòu)造工藝中,焊線接合方法的技術(shù)廣泛地將焊線14應(yīng)用 于芯片10的接墊11與基板12的接墊13間的電性連接。打線接合工藝是以金線為主,但 銅線具有低成本的優(yōu)勢。相較于金,銅具有較佳的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性,可使銅制焊線的線徑較 細及散熱效率較佳。然而,銅具有延...
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