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本發(fā)明涉及利用SOI (Silicon On Insulator或Semiconductor On Insulator )基板并且通過溝槽(trench)進(jìn)行元件間分離的半導(dǎo)體集成電 路裝置，尤其涉及用于智能功率器件(intelligent power device)的半導(dǎo)體 集成電路裝置，還涉及為了元件間絕緣利用電介質(zhì)分離方式的半導(dǎo)體裝置 及其制造方法。背景技術(shù)在絕緣膜上形成半導(dǎo)體層的SOI基板上、形成晶體管和電阻等元件的 半導(dǎo)體集成電路裝置，通過寄生電...
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