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半導(dǎo)體器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6933089

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本發(fā)明涉及一種,更具體地,涉及一種具有由 銅或銅合金構(gòu)成的插塞與布線的。背景技術(shù)銅(Cu)被用作半導(dǎo)體集成電路裝置的布線材料。與傳統(tǒng)使用的鋁(Al) 相比,銅易于擴(kuò)散到絕緣膜中,并且容易導(dǎo)致短路。此外,銅膜與絕緣膜的 粘附力(adhesion)不足,并且在化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)工藝的過(guò)程中容易 剝落。而且,Cu比Al更易于氧化。此外,由于銅氧化膜不能抑制氧化分子 的擴(kuò)散,氧化容易擴(kuò)展。為了防止銅擴(kuò)散并增強(qiáng)與絕緣膜的緊密粘附力,人們采用一種這樣的結(jié) 構(gòu),在該...
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