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存儲(chǔ)單元的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6925607

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本發(fā)明涉及存儲(chǔ)器件的存儲(chǔ)單元及其制造。 背景技術(shù)所存在的不斷的壓力是使存儲(chǔ)單元、比如靜態(tài)RAM(SRAM)單元更小。隨著工藝技 術(shù)縮小到深亞微米(例如65nm、45nm、以及32歷),這些微小SRAM單元的可制造性變得困難 得多。這在很大程度上是由于日益難以精確地在晶片上限定光刻圖案。可制造的SRAM單元必須盡量小,并同時(shí)保持對(duì)其器件參數(shù)的緊密控制,以便保證 在全部產(chǎn)品規(guī)范的范圍內(nèi)操作。有時(shí)需要在SRAM單元中使用較大的晶體管,以便使制造偏 差處于可接受的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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