技術(shù)編號：6925486
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及將氧化物半導(dǎo)體膜用于溝道層的場效應(yīng)晶體管及其制造方法。 背景技術(shù)薄膜晶體管(TFT)等場效應(yīng)晶體管作為半導(dǎo)體存儲集成電路的單位電子元件、高 頻信號放大元件、液晶驅(qū)動用元件等被廣泛應(yīng)用，現(xiàn)在，是最多且實用的電子器件。其中，近年來伴隨顯示裝置以驚人的速度發(fā)展，在液晶顯示裝置(LCD)、場致發(fā)光 顯示裝置(EL)、場致發(fā)射顯示裝置O^ED)等各種顯示裝置中，作為在顯示元件上施加驅(qū)動 電壓而驅(qū)動顯示裝置的開關(guān)元件，大多使用TFT。作為場效應(yīng)晶體管的主要部...
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