技術(shù)編號：6916992
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種等離子體處理機構(gòu)，尤指一種整合式等離子 體處理機構(gòu)。背景技術(shù)隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，等離子體技術(shù)一直以來受到各界廣 泛的重視及應(yīng)用，特別是在半導(dǎo)體元件工藝上的產(chǎn)品提升有著舉足輕 重的地位。同時在環(huán)保意識加強的情況下，等離子體技術(shù)取代傳統(tǒng)的 濕式工藝更受到重視。隨著半導(dǎo)體元件密度提高、線寬不斷的縮小，元件的功能更快速 提升。為了確保元件的可靠度以及把制造成本降到最低，將打線接合(wire bonding)工藝最佳化，以獲得良好的結(jié)合強度與...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。