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薄膜去除方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6905288

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造,特別涉及一種。背景技術(shù)半導(dǎo)體集成電路芯片的工藝制作利用批量處理技術(shù),在同一硅襯底上形成大量各種類型的復(fù)雜器件,并將其互相連接以具有完整的電子功能。隨著超大規(guī)模集成電路的迅速發(fā)展,芯片的集成度越來(lái)越高,元器件的尺寸越來(lái)越小,因器件的高密度、小尺寸引發(fā)的各種效應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體工藝制作結(jié)果的影響也日益突出。 如,隨著超大規(guī)模集成電路器件特征尺寸不斷地等比例縮小,集成度不斷地提高,對(duì)于在制造過(guò)程中去除各種薄膜的工藝要求也越來(lái)越高。 去除薄膜的方法主...
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