技術(shù)編號：6904896
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種基片傳輸裝置，屬于自動化檢測傳輸領(lǐng)域，尤其涉及一種4 片盒單體傳輸結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體集成電路制造行業(yè)，特別設(shè)計LED生產(chǎn)和太陽能電池芯片的生產(chǎn)過程中，對基片的平整度，翹曲度這些指標有很高的要求，因此經(jīng)常需要檢測基片的平整度與厚度，在這過程中，將基片傳輸分類的過程就需要額外的。目前，市場上主要采用的通過人工完成相關(guān)的基片檢測工作。這主要是因為人工成本低的緣故。人工檢測時，在傳輸分類過程中難免會造成晶片受到污染，這樣增加了次品率，不利于降...
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