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技術(shù)編號(hào)：6903912

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本發(fā)明涉及一種防ESD保護(hù)電路中的集成低壓低電容TVS器件及 其制作方法，尤其涉及一種電容值要求在5pF以內(nèi)的集成低壓低電容 TVS器件。背景技術(shù)低壓低電容TVS器件，特別是保護(hù)電壓小于5V的TVS器件，在 集成電路ESD保護(hù)領(lǐng)域應(yīng)用前景極為廣泛，但是隨著電路工作頻率和帶寬的不斷升高，要求TVS器件的電容 更低。為了降低器件電容，目前最為常見(jiàn)的降容方法是將一個(gè)或多個(gè) 低電容二極管與一個(gè)TVS器件串聯(lián)，來(lái)實(shí)現(xiàn)單向低電容過(guò)壓保護(hù)器件。低電容TVS的電容值可以表...
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