技術(shù)編號：6903127
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明 一般涉及具有導電機械停止器的微電機械系統(tǒng)(MEMS )開關(guān)。 背景技術(shù)微電機械系統(tǒng)(MEMS)是在小型密封外殼中的電機械裝置，其大小一 般在微米到毫米的范圍內(nèi)。微開關(guān)形式的MEMS裝置具有活動致動器(也 稱作梁)，在安置在該活動致動器下方或附近的襯底上的柵極或村底電 極的作用下，該活動制動器朝著固定的電接觸移動。該活動致動器可以 是有彈性的梁，其在所施加的例如靜電吸引、磁場吸引和排斥、或者熱 引起的不均勻膨脹等的力的作用下彎曲，從而閉合該梁的自由端...
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