技術(shù)編號(hào):6896910
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及化合物半導(dǎo)體器件,特別是指一種通過(guò)光刻 膠凹槽。背景技術(shù)納米線(包括納米管)是目前納米科技和凝聚態(tài)物理研究中最為 前沿的課題之一。它們具有優(yōu)越的物理性能,是構(gòu)造納米尺度元器件 如激光器、傳感器、場(chǎng)效應(yīng)晶體管、發(fā)光二極管、邏輯線路、自旋電 子器件以及量子計(jì)算機(jī)等的結(jié)構(gòu)單元。尤其是半導(dǎo)體納米線,它不僅能用于基本構(gòu)件,還可以用來(lái)連接 各種納米器件。通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體納米線的深入研究,可望在單一納米線 上制備具有復(fù)雜功能的電子、光子和自旋信息處理器件。另外,從...
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