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用于形成焊料凸點的模板、該模板的制造方法以及使用該模板檢測焊料凸點的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6896136

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本發(fā)明涉及一種。本發(fā)明尤其涉及一種具有腔室以在微電子封裝工藝中形成焊料凸點的模板、該模板的制造方法以及檢測該模板的腔室中所形成的悍料凸點的方法。背景技術(shù)近來,微電子封裝工藝中互聯(lián)方法已漸漸從引線接合(wire bonds)轉(zhuǎn)變?yōu)楹噶贤裹c(solder bumps)。在大規(guī)模生產(chǎn)中使用有多種焊料凸點制造技術(shù)。例如,有電鍍、焊膏印刷、蒸鍍、直接附接預形成的焊球等。具體地,C4NP (受控倒塌芯片連接新工藝)技術(shù)最近引起了廣泛的關注,因其能夠以低成本實現(xiàn)小節(jié)距凸...
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