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技術(shù)編號：6896115

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本發(fā)明涉及在進行利用P (比例要素)I (積分要素)D (微分要素) 控制的溫度控制，對被處理體進行熱處理的裝置中，自動調(diào)諧PID常 數(shù)的技術(shù)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造裝置中，有批量式或單片式熱處理裝置，它們是將 處理氣氛分割成多個區(qū)域，對每個區(qū)域進行溫度控制。例如，在立式 熱處理裝置中，立式的反應(yīng)容器內(nèi)沿上下分割成多個區(qū)域，每個區(qū)域 設(shè)有加熱器和溫度控制器，且作為溫度檢測部，使用設(shè)在反應(yīng)容器內(nèi) 的內(nèi)部溫度檢測部、設(shè)在反應(yīng)容器外的外部溫度檢測部、或配置在基 板...
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