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電可再編程熔絲器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6893083

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域,涉及用于集成電路的可再編程熔絲器件,尤其是指基 于SiSb材料和Sb材料的電可再編程熔絲器件。背景技術(shù)使用可編程熔絲對(duì)邏輯和存儲(chǔ)電路進(jìn)行制造后修補(bǔ)是當(dāng)前半導(dǎo)體工業(yè)中集成電路技術(shù)中 常用的手段。該修補(bǔ)手段向全內(nèi)建自測(cè)試的未來(lái)擴(kuò)展將可能需要更深入的熔絲的發(fā)展和使用, 這又導(dǎo)致對(duì)于與當(dāng)前普遍使用的單次熔絲不同的可再編程器件的需求。熔絲的主要原理是通過(guò)外部編程,實(shí)現(xiàn)電路的斷開(kāi)(或者開(kāi)啟)操作,或者通過(guò)熔絲電 阻的調(diào)節(jié)達(dá)到對(duì)待修復(fù)集成電...
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