技術(shù)編號(hào):6892888
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種功率場(chǎng)效應(yīng)管的晶片接觸制程方法,且特別涉及一種功率 場(chǎng)效應(yīng)管在接觸制程中減少晶片彎曲程度的方法。,f狄功率場(chǎng)效應(yīng)管的晶片在曝光后的顯影制程時(shí),會(huì)發(fā)生微影機(jī)器的真空泵無(wú) 法把晶片吸住,制程被終止,晶片被報(bào)廢的情況,原因是功率場(chǎng)效應(yīng)管的晶片 發(fā)生了彎曲的現(xiàn)象。而晶片彎曲的原因主要是接觸制程中有一道工序?yàn)橹谱鹘?觸凹陷區(qū)的制程,它是在接觸蝕刻之后,在硅層上還要挖一定深度,以隔開(kāi)該 接觸凹陷區(qū)兩側(cè)的離子注入?yún)^(qū)域,該凹陷區(qū)用以形成接觸區(qū)引出導(dǎo)線與外部元...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。- 賀老師:氮化物陶瓷、光功能晶體材料及燃燒合成制備科學(xué)及工程應(yīng)用
- 楊老師:工程電磁場(chǎng)與磁技術(shù),無(wú)線電能傳輸技術(shù)
- 許老師:1.氣動(dòng)光學(xué)成像用于精確制導(dǎo) 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預(yù)測(cè) 3.故障診斷和健康管理
- 王老師:智能控制理論及應(yīng)用;機(jī)器人控制技術(shù)
- 李老師:1.自旋電子學(xué) 2.鐵磁共振、電磁場(chǎng)理論
- 寧老師:1.固體物理 2.半導(dǎo)體照明光源光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)踐 3.半導(dǎo)體器件封裝實(shí)踐
- 楊老師:1.大型電力變壓器內(nèi)絕緣老化機(jī)理及壽命預(yù)測(cè) 2.局部放電在線監(jiān)測(cè)及模式識(shí)別 3.電力設(shè)備在線監(jiān)測(cè)及故障診斷 4.絕緣材料的改性技術(shù)及新型絕緣材料的研究
- 王老師:1.無(wú)線電能傳輸技術(shù) 2.大功率電力電子變換及其控制技術(shù)