技術(shù)編號：6892821
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于集成電路器件制造領(lǐng)域，尤其涉及一種基于絕緣襯底硅(SOI)襯底的共平面波導(dǎo)及其制作方法。背景技術(shù)在互補型金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)射頻集成電路(RFIC)中，微波傳 輸線是不可或缺的組成部分，它的主要用途是以最小的損耗傳輸電磁能量。此 外，微波傳輸線還用于構(gòu)成諧振電路、濾波器等微波元器件。共平面波導(dǎo)是射頻集成電路中最常用的傳輸線之一，影響共平面波導(dǎo)損耗 的因子有導(dǎo)體損耗、介質(zhì)損耗、輻射損耗。其中主要是導(dǎo)體損耗和介質(zhì)損耗。 導(dǎo)體損耗主要由金屬導(dǎo)體...
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