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用于功率器件的電荷平衡技術(shù)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6886785

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體功率器件技術(shù),更具體地涉及用于半導(dǎo)體功 率器件的電荷平衡技術(shù)。背景技術(shù)垂直半導(dǎo)體功率器件具有電極布置在兩個(gè)相對(duì)平面上的結(jié)構(gòu)。 當(dāng)接通垂直功率器件時(shí),漂移電流在該器件中垂直地流動(dòng)。當(dāng)斷開 垂直功率器件時(shí),由于施加在該器件上的反向偏壓,在器件中形成 沿水平方向和垂直方向延伸的耗盡區(qū)。為了獲得高擊穿電壓,設(shè)置 在電才及之間的漂移層由具有高電阻率的材料形成,并且增大漂移層 的厚度。然而,這會(huì)導(dǎo)致器件中的4妾通電阻Rdson增大,這隨之降 低了導(dǎo)電率...
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