技術(shù)編號：6886674
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及移動體裝置、曝光裝置與曝光方法、微動體以及器件制 造方法，更詳細(xì)而言，涉及一種具備在水平面內(nèi)的至少一個軸方向上移 動的移動體的移動體裝置、具備該移動體裝置的曝光裝置和使用上述移 動體裝置的啄光方法、相對于移動體以能夠微小驅(qū)動的方式得到支承的 微動體，以及使用上述膝光裝置或膝光方法的器件制造方法。背景技術(shù)近年來，制造半導(dǎo)體元件、液晶顯示元件等的平版印刷工序中，伴 隨著半導(dǎo)體等的高集成化，主要使用能夠在感光物體上高產(chǎn)量高精度地形成微細(xì)圖案的步進(jìn)重復(fù)方...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。