技術編號：6885581
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及等離子體處理裝置，詳細的說是涉及使用等離子體對 半導體基板等被處理體進行處理用的等離子體處理裝置。背景技術作為等離子體處理裝置，公知的是通過徑向線縫隙天線(Radial Line Slot Antenna)向處理室內(nèi)導入微波使等離子體生成的RLSA方式 的等離子體處理裝置(例如W098 / 33362號)。該RLSA方式的等離 子體處理裝置包括在內(nèi)部具備載置被處理體的載置臺的圓筒容器、和 由縫隙(Slot)板以及波導電介質構成的用于放射微波的天線...
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