技術(shù)編號：6873884
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的制造方法和一種晶片及其制造方法。更具體地，本發(fā)明涉及一種包括使用標線片的曝光步驟的半導(dǎo)體器件制造方法。本發(fā)明還涉及一種晶片及其制造方法，在該晶片上形成有多個芯片。背景技術(shù) 一般而言，在半導(dǎo)體器件的制造過程中，通常對保持在晶片狀態(tài)下的半導(dǎo)體器件執(zhí)行多次檢查，直到制成半導(dǎo)體器件。檢查的類型涵蓋較寬的范圍。檢查的實例包括探針檢查及視覺檢查。探針檢查為這樣一種檢查在探針檢查中，將檢查探針依次與形成在晶片上的各個芯片接觸，測量預(yù)定的特性值。...
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