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半導(dǎo)體器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6869836

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件,特別涉及一種具有存儲單元的半導(dǎo)體器件。背景技術(shù) 在FeRAM(鐵電隨機(jī)存取存儲器)的存儲單元區(qū)域中,多個(gè)鐵電電容器垂直和水平地形成在該絕緣膜中。目前大規(guī)模生產(chǎn)的FeRAM的鐵電電容器具有平面結(jié)構(gòu),其接點(diǎn)部分被提供在下電極的上表面上。圖1為示出該存儲單元區(qū)域的平面結(jié)構(gòu)的平面視圖,其中具有平面結(jié)構(gòu)、字線和位線等等的電容器被設(shè)置和連接在存儲單元區(qū)域和電路之間。在這種情況中,在圖1中,從圖中省略該絕緣膜。在圖1中,被元件隔離絕緣膜(未示出...
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